掩模对准器正文一中的解释顺序是什么？

这是2021广西南宁中考语文第二范文阅读不连续的一个问题，其中选项D描述错误，不是按时间顺序。这是一个逻辑顺序。

MaskAligner又称:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的掩模对准器是掩模对准光刻。一般的光刻工艺要经过硅片表面清洗干燥、底部涂覆、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、刻蚀等过程。