EDX原理和光谱代表什么？
当外层的电子跳到空穴时，释放的能量被原子内部吸收，并驱逐出外层的另一个二次光电子，这就是所谓的俄歇效应，也叫二次光电效应或无辐射效应。被驱动出来的二次光电子称为俄歇电子。
它的能量是有特征的，与入射辐射的能量无关。当外层的电子跳入内层空穴时，释放的能量并没有被原子吸收，而是以辐射的形式释放出来，产生X射线荧光，其能量等于两个能级的能量差。所以X射线荧光的能量或波长是有特征的，与元素有一一对应的关系。？
K层的电子被驱逐后，它们的空穴可以被外层的任何电子填充，从而可以产生一系列谱线，称为K系列谱线:从L层辐射到K层的X射线称为K-α射线，从M层辐射到K层的X射线称为K-β射线。
同样，L层电子的驱逐可以产生L系辐射。如果入射的X射线把一个元素的K层电子激发成光电子，然后L层电子跳到K层，那么能量δ E被释放，δ E = ek-El。这种能量以X射线的形式释放出来，产生Kα射线，还可以产生Kβ射线、L系列射线等等。
莫斯勒发现荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下:λ=K(Z-s)-2。这是莫斯勒定律，其中k和s是常数。因此，只要测量荧光X射线的波长，就可以知道元素的种类，这是荧光X射线定性分析的基础。此外，荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此可以进行元素的定量分析。
X射线是通过使用X射线管并施加高电压来加速电子并使其与金属阳极(阴极)碰撞而产生X射线的。X射线管分为侧窗式和端窗式两种，这两种类型都是为了将X射线均匀地照射在样品表面而设计的。
铍箔一般用于X射线窗口。阴极(也称为靶)由钨(W)、铑(Rh)、钼(Mo)和铬(Cr)等材料制成。这些目标的使用取决于不同的分析元素和使用的不同材料。原则上，目标元素不同于目标材料。
扩展数据
比值法
克利夫-洛里梅法，又称比例法，用于透射电镜中薄样品的定量分析，其中Kab为与样品原始程度和浓度无关的因子，Ca和Cb分别为样品中元素A和B的含量。通过计算或实验得到，Ia和Ib分别是电子入射到含有元素A和B的样品上后产生的特征X射线强度。用ZAF(原子序数效应、吸收效应和荧光效应)修正了扫描电镜中厚样品的定量分析。
优势
(1)能谱仪探测X射线效率高；
(2)分析点内所有元素的X射线光子能量可同时测量和计数，几分钟即可得到定性分析结果，而光谱仪只能逐个测量各元素的特征波长；
(3)结构简单，稳定性和重现性好；
(4)无需调焦，对样品表面无特殊要求，适用于粗糙表面分析。
劣势
(1)低分辨率；
(2)能谱仪只能分析原子序数大于11的元素；光谱仪可以测定原子序数从4到92的所有元素；
(3)能谱仪的Si(Li)探头必须保持低温，因此必须不时用液氮冷却。
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