STEM球差测试原理

球差是轴上各点的单色相位差,由透镜的球面引起。

球差的结果是,一个点成像后不是亮点,而是中间亮边逐渐模糊的亮点,影响成像质量。球面像差的校正通常通过透镜组合来消除。因为凸透镜和凹透镜的球差是相反的,所以可以选择不同材质的凸透镜和凹透镜胶合来消除。